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消息稱阿斯麥 ASML 新一代 EUV 光刻機已具備量產(chǎn)條件,單臺成本約 4 億美元

2026-02-27 09:44 IT之家

導讀:目前已到關(guān)鍵節(jié)點

據(jù)路透社今日報道,阿斯麥公司(ASML)一位高管透露,該公司新一代芯片制造設(shè)備已具備廠商大規(guī)模量產(chǎn)使用的條件,這對芯片行業(yè)而言是重要的一步。

這家荷蘭企業(yè)生產(chǎn)全球唯一商用的極紫外光刻機(EUV),該設(shè)備是芯片制造商的核心生產(chǎn)裝備。阿斯麥方面的數(shù)據(jù)顯示,這款新設(shè)備能省去芯片制造流程中數(shù)個高成本、高復(fù)雜度的工序,助力臺積電、英特爾等芯片企業(yè)制造性能更強勁、能效更優(yōu)異的芯片。

阿斯麥耗時數(shù)年研發(fā)這款高成本的新一代設(shè)備,與此同時,芯片制造商們也一直在評估,何時啟動該設(shè)備的量產(chǎn)才具備經(jīng)濟可行性。

當前一代極紫外光刻機在制造復(fù)雜人工智能芯片方面的能力已接近技術(shù)極限,而這款名為 High-NA EUV(高數(shù)值孔徑極紫外光刻機)的新一代設(shè)備,成為人工智能行業(yè)的關(guān)鍵所在 —— 它將助力優(yōu)化 OpenAI 的 ChatGPT 等聊天機器人,同時幫助芯片企業(yè)如期推進人工智能芯片研發(fā)路線圖,以滿足市場激增的需求。這款新設(shè)備的單臺成本約為 4 億美元(IT之家注:現(xiàn)匯率約合 27.41 億元人民幣),是初代極紫外光刻機的兩倍。

阿斯麥首席技術(shù)官馬爾科?皮特斯稱,阿斯麥的相關(guān)數(shù)據(jù)顯示,目前高數(shù)值孔徑極紫外光刻機的停機時間已大幅減少,累計加工完成 50 萬片餐盤大小的硅晶圓,且能夠刻制出芯片電路所需的高精度圖案。這三項數(shù)據(jù)共同表明,該設(shè)備已具備交付廠商量產(chǎn)使用的條件。

盡管設(shè)備已實現(xiàn)技術(shù)就緒,但芯片企業(yè)仍需耗時 2 至 3 年開展充分的測試與研發(fā),才能將其整合至量產(chǎn)流程中。皮特斯認為從設(shè)備的試產(chǎn)驗證周期來看,目前已到關(guān)鍵節(jié)點。皮特斯表示:“芯片制造商已掌握相關(guān)技術(shù),具備完成該設(shè)備量產(chǎn)認證的能力?!?/p>

他還透露,目前該款設(shè)備的稼動率已達到約 80%,公司計劃在今年年底前將這一指標提升至 90%。該設(shè)備完成的 50 萬片晶圓加工工作,讓公司解決了設(shè)備運行中的諸多技術(shù)難題。